ClF3 adalah hibridisasi sp3d. Dalam molekul ini kita menganggap Cl sebagai atom pusat. Klorin membutuhkan 3 elektron tidak berpasangan untuk berikatan dengan fluor. Selama hibridisasi ini satu orbital 3s, tiga 3p dan satu 3d terlibat yang menghasilkan 5 orbital sp3d. Dari 5 orbital ini, tiga digunakan untuk tumpang tindih dengan orbital 1s fluor dan dua orbital lainnya berisi pasangan elektron bebas. Struktur molekul berbentuk T karena adanya pasangan elektron bebas pada posisi ekuator.